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质量流量控制
质量流量控制器 MFC
型号:MFC-200
数字式质量流量控制器,精确控制气体流量
产品特点
高精度、快速响应、多气体支持
应用场景
锂电、光伏、半导体
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技术参数
参数项
规格
量程
0-100SLM
精度
±1%FS
响应时间
<1s
通讯
RS485/Modbus
浙ICP备2026062547号-1