芯片制造对超纯水品质要求极高，电阻率需达到18.2MΩ·cm，颗粒物严格控制
采用卫生级隔膜阀、高精度流量计和在线分析仪，构建闭环超纯水供应系统
水质电阻率稳定在18.2MΩ·cm，颗粒数<1个/mL(≥0.05μm)
